微电子行业由器件和微电子材料等组成，器件和微电子材料细分为外延片、SOI片、硅抛光片、IC制造等，这些器件的生产都需要用到工业从纯水，如生产期间用的纯水水质不达标，则会直接影响设备的使用寿命，下面了解一下微电子行业用的是哪种水处理设备？

　　首先：

　　水的电阻率：按照我国有关用水标准(GB/T11446.1-1997)，大规模集成电路元器件的生产的用水水质一般要求电阻率大于18MO-CM。

　　温馨提示：国家的有关用水标准(GB/T11446.1-1997)水的电阻率分为四个等级：四级为电阻率0.5MO-CM、三级电阻率12MO-CM、二级电阻率不低于15MO-CM、一级最高电导率18MO-CM以上。

　　纯水脱盐率：微电子行业做的器件一般都会使用到电脑、耳机、充电宝、电视机、手机等的电子设备，因此要求纯水的脱盐率应高达99%以上。

　　纯水树脂：电子行业用的纯水树脂要求在95%以上。

　　其次：

　　超纯水设备：采用的是预处理、反渗透技术、edi超纯水技术以及后级处理等方法的水处理工艺，可制取出水质电阻率0.5~18.2MΩ.CM或以上，

　　脱盐率：edi超纯水技术可去除水中99%左右的盐成分。

　　超纯水设备可以将水中的导电介质、细菌、矿物质、胶体物质、气体、微生物等去除至很低程度的水处理设备。

　　因此微电子行业的工业纯水是可以用超纯水设备制取的。

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