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半导体行业用超纯水设备

来源：www.gzqwscl.com 时间:2019-09-17 09:34 点击：

一、半导体行业用超纯水设备概述

首先我们来说说半导体行业为什么要用超纯水，而且还是18兆欧以上的高纯水，主要是因为半导体工业就是通过在本征半导体（比如纯硅）里掺杂质来调节半导体材料导电性和其它物理化学性能的，极微量杂质就会剧烈改变半导体材料的性能，所以整个生产过程需要用超纯水，以减少杂质的引入，但是可能也由于半导体行业中有个别工艺或产品的不同，导致用水标准不同，从10兆欧到18兆欧，我们全务水处理公司设计的超纯水设备主要采用石英砂过滤器、活性炭过滤器、软水器、保安过滤器、二级反渗透系统、EDI装置。对要求水质高的企业，在后端精处理加抛光混床以达到18.25兆欧的水质。

二、半导体行业用超纯水设备的超纯水设备流程

原水箱→增压泵→全自动多介质过滤器→全自动活性炭过滤器→全自动软化过滤器→保安过滤器→一级高压泵→一级RO反渗透主机→一级RO纯水箱→二级高压泵→二级RO反渗透主机→二级RO纯水箱→EDI增压泵→UV杀菌器→0.45um膜滤器→EDI系统→超纯水箱→超纯水增压泵→核能抛光混床→TOC脱除器→终滤器→用水点

三、半导体行业用超纯水设备构成

1、原水箱超纯水设备原水箱是用来储存自来水，设置有浮球开关，防止无水损坏增压泵，以及预处理罐。原水箱一般采用PE水箱，当然也可以根据用户实际情况选用不锈钢材质。

2、原水泵　　原水泵是从原水箱内把水抽出，供应给预处理，经过预处理过滤在供给反渗透，全务公司采用的原水泵主要是国产南方泵与丹麦格兰富水泵，质量性能都有保证。

3、全自动石英砂过滤器石英砂过滤器也就是多介质过滤器，或称之为机械过滤器，材质可选用玻璃钢罐、或不锈钢、碳钢罐等，滤料填装石英砂，然后用压力把自来水或地表水打入罐体内，从而去除水中的悬浮物、有机物、胶质颗粒、及部分重金属离子。

5、全自动活性炭过滤器　　活性炭过滤器的作用主要是去除大分子有机物、余氯。这是因为有机物、余氯易使离子交换树脂中毒，而余氯、阳离子表面活性剂等不但会使树脂中毒，还会破坏膜结构，使反渗透膜失效。

6、阻垢剂（或全自动软化水过滤器）　　反渗透阻垢剂主要用于超纯水设备反渗透膜，主要防止反渗透膜表面结垢，从而保护反渗透膜，保持超纯水水质。工作原理：反渗透阻垢剂溶于水后发生电离,生成带负电性的分子链,与Ca2+形成可溶于水的络合物或螯合物,从而使无机盐溶解度增加,起到阻垢作用。其实不管是用阻垢剂还是用树脂其作用都是防止膜结垢。

7、保安过滤器保安过滤器装置在预处理后面，反渗透膜前面，有不锈钢材质或塑料材质，内置精密滤芯，有过滤精度5um的和过滤精度1um的，根据设计要求选定。

8、反渗透　　反渗透膜一种模拟生物半透膜制成的具有特性的人工半透膜。一般用高分子材料制成。如醋酸纤维素膜、芳香族聚酰肼膜、芳香族聚酰胺膜。表面微孔的直径一般在0.5～10nm之间，透过性的大小与膜本身的化学结构有关。有的高分子材料对盐的排斥性好，而水的透过速度并不好。有的高分子材料化学结构具有较多亲水基团，因而水的透过速度相对较快。因此一种满意的反渗透膜应具有适当的渗透量或脱盐率。

9、PH调节系统 PH调节系统是用来调节一级反渗透产水的PH值，一般采用氢氧化钠来调节。

10、EDI膜块 EDI膜块是一种新型的过滤设备，它装置在反渗透后面，经过二级反渗透进入EDI膜块，出水水质可以到到17兆，原理：它巧妙的将电渗析和离子交换技术相结合，利用两端电极使水中带电离子移动，并配合离子交换树脂及选择性树脂膜以加速离子移动去除，从而达到水纯化的目的。在EDI除盐过程中，离子在电场作用下通过离子交换膜被去除。同时，水分子在电场作用下产生氢离子和氢氧根离子，这些离子对离子交换树脂进行连续再生，以使离子交换树脂保持较好的状态。

11、UV紫外线杀菌器　　紫外线是一种肉眼看不见的光波，存在于光谱紫射线端的外侧，故称紫外线。紫外线杀菌器是物质运行的一种特殊形式，是一粒粒不连接的粒子流。每一粒波长253.7nm的紫外线光子具有4.9eV的能量。当紫外线照射到微生物时，便发生能量的传递和积累，积累结果造成微生物的灭活，从而达到灭菌的目的。

12、TOC脱除器 TOC是总有机碳的简称。其中的紫外线灯管的作用就是：利用紫外线将水中的碳水化合物的碳打断，在足够的照射剂量照射下，绝大部分的有机物被分解成H2O和CO2。其剩下的物质就可以被后续设备吸附和分解。 13、抛光混床　　抛光树脂一般用于超纯水处理系统末端，来保证系统出水水质能够维持用水标准。一般出水水质都能达到18兆欧以上，以及对TOC、SIO2都有控制能力。抛光树脂出厂的离子型态都是H、OH型，装填后及可使用无需再生。

四、半导体行业用超纯水设备的优势

半导体行业用超纯水设备配备双级反渗透装置，可确保系统稳定运行，该套超纯水设备采用进口海德能超低压反渗透，脱盐率高，使用寿命长，运行稳定，能耗低。主要元件采用进口元件，稳定性高，操作简单方便。除此之外设备配备UV紫外线及膜滤器，可防止细菌对水质的影响。

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